試驗標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 4937.1-2006 半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法 第1部分:總則
IEC 60749- 22: 2002半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法 第22部分:鍵合強(qiáng)度
GB/T 4937.22-2018 半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法 第22部分:鍵合強(qiáng)度
試驗背景
引線鍵合是封裝過程中一道關(guān)鍵的工藝,鍵合的質(zhì)量好壞直接關(guān)系到整個封裝器件的性能和可靠性,半導(dǎo)體器件的失效約有1/4~1/3是由芯片互連引起的,故芯片互連對器件長期使用的可靠性影響很大。
引線鍵合技術(shù)也直接影響到封裝的總厚度。 半導(dǎo)體器件鍵合強(qiáng)度試驗?zāi)康氖菧y量鍵合強(qiáng)度或確定鍵合強(qiáng)度是否滿足規(guī)定的要求, 適用于半導(dǎo)體器件(分立器件和集成電路)。
健明迪檢測環(huán)境可靠性實驗中心擁有各種半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗設(shè)備,具備鍵合強(qiáng)度試驗?zāi)芰Γ瑸榘雽?dǎo)體器件、設(shè)備提供專業(yè)的鍵合強(qiáng)度試驗服務(wù)。
半導(dǎo)體器件鍵合強(qiáng)度試驗機(jī)構(gòu)
健明迪檢測環(huán)境可靠性實驗中心擁有各種半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗設(shè)備,具備鍵合強(qiáng)度試驗?zāi)芰?,為半?dǎo)體器件、設(shè)備提供專業(yè)的鍵合強(qiáng)度試驗服務(wù)。
試驗方式
方法A和方法B:通過對內(nèi)引線直接施加拉力來測試器件內(nèi)部的鍵合強(qiáng)度;
方法C:用于器件外部的鍵合,在引線或引出端與布線板或基底之間施加拉脫應(yīng)力;
方法D:用于內(nèi)部鍵合,在芯片和基底之間或?qū)︻愃频拿骀I合結(jié)構(gòu)施加剪切應(yīng)力;
方法E和方法F:用于外部鍵合在芯片和基底之間施加推開應(yīng)力或拉開應(yīng)力;
方法G:用于測試引線鍵合抗剪切力的強(qiáng)度。