GB/T 4937.1-2006 半導體器件機械和氣候試驗方法 第1部分：總則
GB/T 4937.12-2012 半導體器件機械和氣候試驗方法 第12部分：掃頻振動
GB/T 2423.10-2008電工電子產(chǎn) 品環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗 Fc：振動（正弦）
IEC 60749-12 ：2002 半導體器件機械和氣候試驗方法 第12部分： 掃頻振動

半導體器件掃頻振動試驗目的是測定在規(guī)定頻率范圍內(nèi)，振動對器件的影響，屬于破壞性試驗，通常用于有空腔的器件。
健明迪檢測環(huán)境可靠性實驗中心擁有各種半導體器件機械和氣候試驗設備，具備掃頻振動試驗能力，為半導體器件、設備提供專業(yè)的掃頻振動試驗服務。

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樣品應剛性地安裝在振動臺上，引出端和電纜也應安全固定，以避免引人額外的引線共振。應使樣品做簡諧振動，其振幅兩倍幅值為1.5 mm（峰-峰值） ，或其峰值加速度為200 m/s2 ，取較小者。 振動頻率在20 Hz~2 000 Hz范圍內(nèi)近似對數(shù)變化。
從20 Hz~2 000 Hz再回到20 Hz的整個頻率范圍的振動時間不應少于4 min。在X、Y和Z 3個方向上各進行4次這樣的循環(huán)（共12次）。